A. 机构精密度及稳定度高
B. 客制化及人性化机构硬体及软体介面设计
C. 处理速度快速
D. 机台整合性高

A. 光源 Light source
B. 镜头 Lens
C. 影像感测器 Image sensor

A.模板比对 Pattern matching
B.型态学技术 Morphology
C.临边比对 Nearest Neighbor Comparison

AOI 即自动化瑕疵光学检测 (Automatic Optical Inspection)。具体来说明：透过 Line scan 或 Area CCDs 取像后，使用软体技术去进行目标物 (Object) 的品质检测。检测主要项目为：各式各样的异物（particles）、断线（line breakages）、产品图样易位（pattern shifts）等等。理想上希望全面取代人眼或进行人眼所无法执行的检测工作。

A.平面显示器制造产业：如 STN 及 TFT 基板检查、彩色滤光片检查（Color Filter）、ITO及空白玻璃基板检查、PDP 电浆显示器检查等。
B.印刷电路板制造产业：如内层板检查、外层板检查、BGA载板、HDI 高密度载板检查、插件组装后基板检查，SMT锡膏检测等。
C.半导体晶圆制造产业：如晶圆检查、光罩检查等。
D.半导体封装产业：如 TAB 卷带式载板检查、IC Lead Frame 导线架检查等。