AOI 即自动化瑕疵光学检测 (Automatic Optical Inspection)。具体来说明:透过 Line scan 或 Area CCDs 取像后,使用软体技术去进行目标物 (Object) 的品质检测。检测主要项目为:各式各样的异物(particles)、断线(line breakages)、产品图样易位(pattern shifts)等等。理想上希望全面取代人眼或进行人眼所无法执行的检测工作。