AOI 即自動化瑕疵光學檢測 (Automatic Optical Inspection)。具體來說明：透過 Line scan 或 Area CCDs 取像後，使用軟體技術去進行目標物 (Object) 的品質檢測。檢測主要項目為：各式各樣的異物（particles）、斷線（line breakages）、產品圖樣易位（pattern shifts）等等。理想上希望全面取代人眼或進行人眼所無法執行的檢測工作。