CF高解析自动光学检测设备

採用高速动态光学取像系统及影像品质稳定硬体设计,搭配独有检测演算软体,针对高解析度CF产品提供精确的缺陷侦测与分类,并满足不同客户对于产品良率提升及即时监控的需求。

SPEC/关键能力

✔解像及缺陷检出能力范围可达 3um~10um
✔可对应LTPS产品,针对对COA产品可支援外围线路
✔区检测,同时支援BM区检测功能
✔卓越的自主影像检测技术可支援所有尺寸、不同图像设计及任意形状的面板产品
✔缺陷智能分类功能

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