色度/膜厚/OD量測機

✔高精度量測:採用高精度光學取像量測模組,結合X/Y龍門移動平台及光源設計,提供CD/Overlay高精度量測
✔多功能性: 可個別或整合搭載色度/膜厚/OD光譜儀量測模組,一次滿足多種量測需求

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應用領域

彩色濾光片(Color Filter)
PI膜
光阻塗佈

設備特色

在面板的塗佈(Coating)製程中,色度、膜厚和光學密度(OD)的品質,是面板在各項顯示功能上極為重要的參數之一。

晶彩科技的色度/膜厚/OD量測機,透過個別、整合的光譜儀量測模組,達到高精度的自動精密目標量測。

設備特色:
✔高精度量測:採用高精度光學取像量測模組,結合X/Y龍門移動平台及光源設計,提供CD/Overlay高精度量測
✔多功能性: 可個別或整合搭載色度/膜厚/OD光譜儀量測模組,一次滿足多種量測需求

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