採用单一或多种光学取像系统,搭配DM影像检测技术,针对CF全膜涂佈后、曝光显影前的所产生的膜厚、色度变异或Array曝光显影后所产生的图形变异所产生的Mura进行即时检知。
採用单一或多种光学取像系统,搭配DM影像检测技术,针对CF全膜涂佈后、曝光显影前的所产生的膜厚、色度变异或Array曝光显影后所产生的图形变异所产生的Mura进行即时检知。
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