OLED顯示器光罩檢測設備

採用多種光學取像系統及影像品質穩定硬體設計,搭配獨有檢測演算軟體,針對蒸鍍後及雷射修補後所產生或殘留的各類孔洞及表面異常缺陷進行有效檢知與分類及無效缺陷過濾,可應用於CMM及FMM產品。

SPEC/關鍵能力

✔解像及缺陷檢出能力範圍可達 3um~5um
✔檢出區域可同時涵蓋光罩區及外框區
✔檢測技術可支援不同圖像設計及任意形狀的光罩產品。
✔缺陷智能分類功能

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