OLED显示器光罩检测设备

採用多种光学取像系统及影像品质稳定硬体设计，搭配独有检测演算软体，针对蒸镀后及雷射修补后所产生或残留的各类孔洞及表面异常缺陷进行有效检知与分类及无效缺陷过滤，可应用于CMM及FMM产品。