FOPLP 多层RDL细微线路缺陷检测机

✔消弭非当层线路图形干扰;当层线路缺陷有效检出
✔可对应4 Layer RDL细微线路L/S=2µm线路产品
✔Die to Die & Die to CAD

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应用领域

FOPLP (面板级先进封装) RDL制程

设备特色

为达到更优异的产品效能,FOPLP(Fan-Out Panel Level Packaging,面板级扇出型封装)技术已成为实现更高密度和高效能晶片封装的关键。 FOPLP透过多层的RDL(重布线层),达到更薄的封装厚度及更优异的电性表现,该技术对线路的精细度要求,及检测难度也大幅提升。

设备特色:
✔消弭非当层线路图形干扰;当层线路缺陷有效检出
✔可对应4 Layer RDL细微线路L/S=2µm线路产品
✔Die to Die & Die to CAD

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