色度/膜厚/OD量测设备

✔高精度量测:采用高精度光学取像量测模组,结合X/Y龙门移动平台及光源设计,提供CD/Overlay高精度量测
✔多功能性: 可个别或整合搭载色度/膜厚/OD光谱仪量测模组,一次满足多种量测需求

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应用领域

彩色滤光片(Color Filter)
PI膜
光阻涂布

设备特色

在面板的涂布(Coating)制程中,色度、膜厚和光学密度(OD)的品质,是面板在各项显示功能上极为重要的参数之一。

晶彩科技的色度/膜厚/OD量测机,透过个别、整合的光谱仪量测模组,达到高精度的自动精密目标量测。

设备特色:
✔高精度量测:采用高精度光学取像量测模组,结合X/Y龙门移动平台及光源设计,提供CD/Overlay高精度量测
✔多功能性: 可个别或整合搭载色度/膜厚/OD光谱仪量测模组,一次满足多种量测需求

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