✔高精度量测：采用高精度光学取像量测模组，结合X/Y龙门移动平台及光源设计，提供CD/Overlay高精度量测 ✔多功能性： 可个别或整合搭载色度/膜厚/OD光谱仪量测模组，一次满足多种量测需求
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