✔高精度量測：採用高精度光學取像量測模組，結合X/Y龍門移動平台及光源設計，提供CD/Overlay高精度量測 ✔多功能性： 可個別或整合搭載色度/膜厚/OD光譜儀量測模組，一次滿足多種量測需求
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