✔解像及缺陷檢出能力範圍可達 3μm~5μm ✔檢出區域可同時涵蓋光罩區及外框區，確保檢測無遺漏 ✔檢測技術可支援不同圖像設計，以及任意形狀的光罩產品 ✔缺陷智能分類功能，有效區分有效缺陷與無效缺陷，提高檢測效率
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