✔解像及缺陷检出能力范围可达 3μm~5μm ✔检出区域可同时涵盖光罩区及外框区，确保检测无遗漏 ✔检测技术可支援不同图像设计，以及任意形状的光罩产品 ✔缺陷智能分类功能，有效区分有效缺陷与无效缺陷，提高检测效率
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