✔ Line scan高速检测/高速彩图拍照 ✔ 支援产品： – 12吋 Silicon wafer/metal frame正面外观缺陷检测 – 12吋 Glass wafer正背面及边缘外观检测 ✔ 搭载12” wafer/metal frame EFEM ✔ AI即时缺陷分类判定功能 ✔ 良率管理系统
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