✔速度提升1.5倍的全新一代机种 ✔支援Backplane各类晶粒缺陷与缺晶检知 ✔最小缺陷检出精度:1μm ✔同步执行高精度晶粒偏移/旋转量测,重复精度可达0.7μm ✔搭载AI RTDC与AI ADJ,有效区分有效缺陷,无效缺陷及缺陷类型,提高检测效率
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