✔R/G/B defect, Foreign Material、PR Residue、Film Broken
✔CMM Mask：12inch
✔Mask 各類缺陷檢測：Particle、纖維、蝕刻不良、有機物殘留、金屬殘留
✔Mask 尺寸量測：表面平坦度、開口尺寸和Frame高度
✔AI 即時缺陷分類
✔Min. Defect size：1μm