Micro OLED基板需經過蒸鍍製程的金屬遮罩(Mask)，讓有機材料能於蒸鍍過程能精確地沉積到對應位置上形成像素，因此若Mask上有任何缺陷或偏差，都可能導致像素錯位或於後續出現嚴重顯示問題。

透過晶彩科技的Micro OLED Mask 缺陷檢測機，能有效檢測Mask上的是否有細微缺陷，以及針對Mask各尺寸進行精確量測。

設備特色：
✔R/G/B defect, Foreign Material、PR Residue、Film Broken
✔CMM Mask：12inch
✔Mask 各類缺陷檢測：Particle、纖維、蝕刻不良、有機物殘留、金屬殘留
✔Mask 尺寸量測：表面平坦度、開口尺寸和Frame高度
✔AI 即時缺陷分類
✔Min. Defect size：1μm