Features

  • AI 即時缺陷檢測及分類，即檢即分類，處理速度可達  50 FPS以上。
  • 可搭載8”/12” EFEM，支援SECS GEM200/300。
  • Min defect size ≧ 0.3µm
  • 可搭載良率管理系統。