晶彩科技的自动光学CD/OL量测机，能提供高精度的CD和OL量测，协助客户分析制程偏差，优化制程参数。

设备特色：
✔高精度光学取像量测模组： 采用高倍率光学系统和高解析度影像感测器，能够精确捕捉微小的尺寸变化
✔特殊平台及光源设计： 结合稳定的移动平台和特殊光源设计，提升重现性与取像速度