自動光學CD/OL量測機
✔高精度光學取像量測模組： 採用高倍率光學系統和高解析度影像感測器，能夠精確捕捉微小的尺寸變化
✔特殊平台及光源設計： 結合穩定的移動平台和特殊光源設計，提升重現性與取像速度
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應用領域
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設備特色
晶彩科技的自動光學CD/OL量測機，能提供高精度的CD和OL量測，協助客戶分析製程偏差，優化製程參數。
設備特色：
✔高精度光學取像量測模組： 採用高倍率光學系統和高解析度影像感測器，能夠精確捕捉微小的尺寸變化
✔特殊平台及光源設計： 結合穩定的移動平台和特殊光源設計，提升重現性與取像速度
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