應用領域
CMM、FMM缺陷檢測
設備特色
在OLED面板的生產環節中,蒸鍍和雷射修補時,可能產生或殘留孔洞缺陷及表面異常缺陷,如Particle、Residue、Hole Damage等問題,需進行有效檢知、分類,及無效缺陷過濾,避免嚴重影響產品品質。
晶彩科技的OLED檢測機,採用多種光學取像系統及影像品質穩定硬體設計,搭載獨有檢測演算法,完成高精準的缺陷檢知與分類。
設備特色:
✔解像及缺陷檢出能力範圍可達 3μm~5μm
✔檢出區域可同時涵蓋光罩區及外框區,確保檢測無遺漏
✔檢測技術可支援不同圖像設計,以及任意形狀的光罩產品
✔缺陷智能分類功能,有效區分有效缺陷與無效缺陷,提高檢測效率
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