✔即时自动对焦
✔Real Time影像防震功能
✔Smart量测功能
✔明暗视野与DIC的全面性观察
✔超长景深合成功能
✔超大范围拼图
✔影像目标导航
✔AI缺陷目标侦测
✔3D Profile量测
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半导体产业:晶圆检测、先进封装
面板产业:表面缺陷、晶粒缺陷、像素尺寸量测
电路板产业:线宽、线距检测量测
于半导体、面板、次世代显示器与IC载板等产业,因应制程、线路的发展持续精细微小化,在微观层面的精准度要求极高,产品的良率和性能往往取决于对细节的掌握,任何微小的瑕疵皆可能对产品品质、效能产生极大的影响。
因此晶彩科技推出多功能自动光学显微镜系统,以小体积的设计,整合多功能于一台检测设备,满足客户在研发端对产品2D、3D的精准缺陷检测与量测的需求。
设备特色:
✔即时自动对焦
✔Real Time影像防震功能
✔Smart量测功能
✔明暗视野与DIC的全面性观察
✔超长景深合成功能
✔超大范围拼图
✔影像目标导航
✔AI缺陷目标侦测
✔3D Profile量测