Features
- Line Scan高速检测 + AI缺陷分类。
- 支援Silicon/Glass Wafer正背面外观缺陷检测。
- 可应用于CIS/IQC/OQC。
- 可搭载8”/12” EFEM,支援SECS GEM200/300。
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民国八十九年三月十日经经济部核准设立。
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