Micro LED Panel 檢量測機主要用於檢測 Micro LED 晶粒轉移至Panel後，可能出現的晶粒、Bonding、Pad與保護膠異常狀況等。

設備特色：
✔Micro LED Panel：5吋~17吋
✔晶粒各類缺陷及缺晶檢知，Pad缺損/異常、晶粒✔Bonding異常、保護膠缺損/異常
✔AI即時缺陷分類
✔Min. Defect size：1μm/1.5μm
✔同步執行高精度晶粒TTP/偏移/旋轉量測