Micro LED Backplane作為顯示器的重要驅動訊號的關鍵元件，用以控制各顆晶粒的亮度與顏色變化，以保證顯示器的畫面能夠優異呈現，因此Backplane對於缺陷、線寬線距的要求極為嚴苛。

設備特色：
✔Micro LED Backplane：G2.5~G4.5
✔晶粒各類缺陷及缺晶檢知，線路Open/Short、Pad缺損/異常、晶粒Bonding異常
✔AI即時缺陷分類
✔Min. Defect Size：1μm/1.5μm
✔同步執行高精度晶粒TTP/偏移/旋轉量測