應用領域
晶粒巨量轉移(COW/COC))
設備特色
在COW(Chip on Wafer)和COC(Chip on Carrier)製程中,因Micro LED晶粒微小且數量龐大,轉移後容易出現多晶、掉晶及其他缺陷狀況,同時晶粒也可能發生轉移後的位置偏移、旋轉,導致可能衍生出的潛在品質問題。
晶彩科技的Micro LED COW/COC 檢量測機,能針對巨量轉移後的晶粒,短時間內完成全範圍的缺陷檢測與位置量測。
設備特色:
✔COW/COC1:4”/6” Wafer Form;
✔COC2:200*200mm Panel Form
✔晶粒各類缺陷及缺晶檢知
✔AI即時缺陷分類
✔Min. Defect Size:0.8μm/1μm
✔同步執行高精度晶粒TTP/偏移/旋轉量測
✔可對應晶粒數量級 3000萬顆以上
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