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高速自动光学拍照机
採用高速移动平台结合多种倍率镜头及即时雷射对焦系统系统,针对AOI设备所检出的各类缺陷提供即时快速且清晰的彩色图像拍照,并可搭配自动缺陷判定系统对缺陷进行快速分类。
自动光学CD量测设备
採用高精度光学取像量测模组并结合特殊平台及光源设计,可提供CD/Overlay高精度量测。
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