• 採用高速移动平台结合多种倍率镜头及即时雷射对焦系统系统,针对AOI设备所检出的各类缺陷提供即时快速且清晰的彩色图像拍照,并可搭配自动缺陷判定系统对缺陷进行快速分类。
  • 採用高精度光学取像量测模组并结合特殊平台及光源设计,可提供CD/Overlay高精度量测。

  • 採用X/Y龙门移动平台,可个别或整合搭载色度/膜厚/OD光谱仪量测模组,应用于各涂佈製程后的色度/膜厚/OD不均及异常的自动精密量测。
  • 提供客户所有放大观察及量测需求的全方位解决方桉。

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