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Inline Chip on tray 放板不正挑检机
Features
流水线AI 即时检测,快速精准省时。
Chip于tray盘内放片不正/倾斜/掉落/叠片均可检出
电镀铜线路(闪蚀前)缺陷检查机 (for SLP/IC载板/ETS)
Features
AI 即时检测;检测运算速度可达50 FPS以上
Open/Short/Dent缺陷检出
有效避免铜颗粒/异色/异物假点
提供SAP/mSAP 製程闪蚀蚀刻前电镀铜线路
最佳检测解决方桉
自动AI OM/AVI
Features
AI即时缺陷检测;高速拍照,即拍即检即分类。
自动线宽距/孔径量测。
FOPLP 多层RDL细微线路缺陷检查机
Features
消弭非当层线路图形干扰;当层线路缺陷有效检出
可对应4 Layer RDL细微线路L/S=2µm线路产品
Die to Die & Die to CAD
多功能自动光学显微镜系统
提供客户所有放大观察及量测需求的全方位解决方桉。
其他客制化解决方桉
提供各类客製化缺陷检测与量测解决方桉
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