✔Main Defect Type: Particle, crack, chipping, bubble, stain
Micro OLED wafer: 12inch Glass-wafer
✔適用製程： Cover-Glass IQC
✔Glass 缺陷：異物、凹凸點、破片、裂痕、髒污
✔Glass 正/反面同時檢測並能辨識缺陷位於正面或反面位置
✔AI 即時缺陷分類
✔Min. Defect size：0.3μm