✔依據區域/晶粒/缺陷尺寸/缺陷類型等條件進行高速分選與拍照 ✔支援 KLARF 檔案格式匯入/匯出 ✔扇出型晶粒錯位檢測方案 ✔高低差結構可進行高速景深合成功能 ✔AI 即時缺陷分類
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