Horus A系列 – 晶圓級3D IC超高精度Die shift量測機

晶圓級3D IC超高精度Die shift量測機

✔應用於3D IC先進封裝
✔對應SoC晶片對晶圓貼合製程
✔晶片貼合精度(偏移/旋轉)測量與回饋

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