✔ Line scan高速檢測/高速彩圖拍照
✔ 支援產品：
– 12吋 Silicon wafer/metal frame正面外觀缺陷檢測
– 12吋 Glass wafer正背面及邊緣外觀檢測
✔ 搭載12” wafer/metal frame EFEM
✔ AI即時缺陷分類判定功能
✔ 良率管理系統