• 可對應Array與CF單板、合板或薄化後基板產品,利用特殊光學系統及檢測邏輯針對切割前、切割後或薄化後所產生的刮傷、表面凸起或凹陷、缺崩裂、異物掉落及髒污等缺陷進行檢知與分類並結合人員複判功能機制將產品在出貨前進行有效的品質管控與篩選。
  • 採用高速動態光學取像系統及影像品質穩定硬體設計,搭配獨有檢測演算軟體,針對高解析度CF產品提供精確的缺陷偵測與分類,並滿足不同客戶對於產品良率提升及即時監控的需求。
  • 採用多種光學取像系統及影像品質穩定硬體設計,搭配獨有檢測演算軟體,針對蒸鍍後及雷射修補後所產生或殘留的各類孔洞及表面異常缺陷進行有效檢知與分類及無效缺陷過濾,可應用於CMM及FMM產品。
  • 針對ITO導電薄膜及線路提供高度精確的缺陷偵測與分類,可應用於各種觸控顯示產品,並滿足不同客戶對於產品良率提升及監控的需求。
  • 採用高速移動平台結合多種倍率鏡頭及即時雷射對焦系統系統,針對AOI設備所檢出的各類缺陷提供即時快速且清晰的彩色圖像拍照,並可搭配自動缺陷判定系統對缺陷進行快速分類。
  • 採用高精度光學取像量測模組並結合特殊平台及光源設計,可提供CD/Overlay高精度量測。
  • 採用X/Y龍門移動平台,可個別或整合搭載色度/膜厚/OD光譜儀量測模組,應用於各塗佈製程後的色度/膜厚/OD不均及異常的自動精密量測。
  • 提供客戶所有放大觀察及量測需求的全方位解決方案。

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