• 採用高速移動平台結合多種倍率鏡頭及即時雷射對焦系統系統,針對AOI設備所檢出的各類缺陷提供即時快速且清晰的彩色圖像拍照,並可搭配自動缺陷判定系統對缺陷進行快速分類。
  • 採用高精度光學取像量測模組並結合特殊平台及光源設計,可提供CD/Overlay高精度量測。
  • 採用X/Y龍門移動平台,可個別或整合搭載色度/膜厚/OD光譜儀量測模組,應用於各塗佈製程後的色度/膜厚/OD不均及異常的自動精密量測。
  • 提供客戶所有放大觀察及量測需求的全方位解決方案。

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