- AI即時缺陷檢測;高速拍照,即拍即檢即分類。
- 自動線寬距/孔徑量測。
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Features
- 高速檢測 + AI 缺陷分類。
- 檢測項目:顯示區及外圍Fan-Out區線路Open/Short、 異物、髒污、刮傷。
- 依據客戶需求可支援不同尺寸基板/Panel。
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Features
- 超高速AI即時檢測。
- 檢測項目:晶粒缺陷、損傷、髒污、刮傷、缺晶。
- 巨量轉移後晶粒位置位移/旋轉量測。
- 依據客戶需求可支援4”~8” wafer及不同尺寸Panel。
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Features
- AI 即時檢測:即檢即拍即分類。
- 檢測項目:銅Pad 缺損、偏移、LED Bonding異常(晶 粒位置位移/旋轉)。
- 依據客戶需求可支援不同尺寸基板/Panel。
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Features
- 異物、纖維、蝕刻不良、有機物殘留、金屬殘留
- CMM光罩:8吋、12吋
- 支持表面平坦度、開口尺寸和Frame高度量測
- AI即時缺陷檢測:即拍即檢即分類